備有各式檢測儀器與測試平台可對於AMAT、Axcelis與Novellus等各廠牌設備電系與機械等部件進行檢測維修，廠內並安裝一部 Axcelis GSD HE，除作為部分測試平台外亦可在緊急時提供交換件與販售。